クォーツチューブ型マイクロ波プラズマCVD装置
先端放電型マイクロ波プラズマCVD装置
高精度マイクロ波プラズマCVD装置
ホール効果測定装置
高真空反射高速電子線回折装置
極低温カソードルミネッセンス分光分析装置
抵抗加熱蒸着装置
収束電子線MBE装置
環境制御型原子間力顕微鏡
極低温測定用プローブシステム
高温測定用プローブステーション
ネットワークアナライザおよび高周波測定用プローブシステム
高性能加湿装置
高純度半導体ガス供給管理システム
高精度電子線描画装置
ラマン装置
単結晶高純度ダイヤモンド成膜装置
表面安定化成膜装置
抵抗加熱蒸着装置 :
様々な蒸着源を用いて、高真空領域で効率よく電極材料を蒸着させることができる。